Além das medições de pressão, outros parâmetros também são monitorados nas linhas de vácuo para evitar: água e ar na linha; prevenir contaminação de filmes, óleo e solventes; proteger bombas e válvulas e acelerar o pump-down. Com isso, garante-se que o ICP-MS opere dentro dos valores de pressões alvo e as medidas possuam background baixo e estável.
Os parâmetros controlados são: