Em ICP-MS, o sistema de automação e controle é o conjunto integrado de sensores, atuadores, fontes (RF/HV), lógicas de intertravamento, malhas de controle e software (HMI/SCADA/LIMS) que garante segurança, ignição e estabilidade do plasma, condições de vácuo, transporte de amostra, sintonias, aquisição sincronizada e rastreabilidade metrológica.
Entre estes sistemas, está o sistema de casamento automático do gerador de RF à bobina de plasma.
O sistema de controle RF por potência refletida utiliza o Módulo 1 para amostrar, em tempo real, uma fração da potência do sinal direto (𝑃𝑓𝑤𝑑, medida pelo Sensor 2) e uma fração da potência do sinal refletido (𝑃𝑟𝑒𝑓, Sensor 1) na linha entre o gerador e a rede de casamento. Então, calcula-se o coeficiente de reflexão e VSWR e um algoritmo aciona os atuadores do circuito de casamento (capacitores a vácuo/indutor variável) para minimizar 𝑃𝑟𝑒𝑓 e manter a carga efetiva próxima de 50 Ω. Assim, maximiza-se a transferência de potência e estabiliza-se o plasma.
O módulo 1 é um